嚴(yán)大洲，中共黨員，教授級(jí)高級(jí)工程師，中國(guó)恩菲工程技術(shù)有限公司副總工程師、洛陽(yáng)中硅高科技有限公司總工程師。先后承擔(dān)40余項(xiàng)大中型科研、設(shè)計(jì)、總承包項(xiàng)目，主持并完成國(guó)家電子基金項(xiàng)目、“863”計(jì)劃課題7項(xiàng)。榮獲國(guó)家級(jí)、省部級(jí)科技獎(jiǎng)數(shù)十項(xiàng)。享受?chē)?guó)務(wù)院政府特殊津貼。獲全國(guó)勞動(dòng)模范、全國(guó)有色金屬行業(yè)設(shè)計(jì)大師、國(guó)家“百千萬(wàn)人才”工程等多項(xiàng)榮譽(yù)。

大約1.7米的個(gè)頭，說(shuō)話(huà)慢條斯理，不管和誰(shuí)打交道，總會(huì)習(xí)慣性地說(shuō)“謝謝”。單看外表，你覺(jué)得他就是一個(gè)和藹可親的長(zhǎng)輩，很難把他和中國(guó)多晶硅行業(yè)的領(lǐng)軍人物、全國(guó)勞動(dòng)模范這樣的稱(chēng)號(hào)聯(lián)系起來(lái)。這就是中國(guó)恩菲副總工程師、全國(guó)勞動(dòng)模范、民族多晶硅技術(shù)的奠基人，一位做出了不平凡成就的中國(guó)共產(chǎn)黨員——嚴(yán)大洲。

硅業(yè)報(bào)國(guó) 創(chuàng)新不止

2002年，光伏行業(yè)發(fā)展中的多晶硅產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵核心技術(shù)受制于國(guó)外技術(shù)封鎖，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)幾乎全部依賴(lài)進(jìn)口，這給中國(guó)光伏行業(yè)的發(fā)展帶來(lái)了巨大影響。“卡脖子”技術(shù)被西方掌握，怎么辦？此時(shí)，中國(guó)有色工程設(shè)計(jì)研究總院（今“中國(guó)恩菲”）的嚴(yán)大洲收到通知，公司將在河南洛陽(yáng)建立洛陽(yáng)中硅高科技有限公司，致力于多晶硅領(lǐng)域的技術(shù)研發(fā)，打破技術(shù)封鎖。

而他，則是科研帶頭人。

“能不能行？”當(dāng)時(shí)的公司領(lǐng)導(dǎo)這么問(wèn)他。

“沒(méi)問(wèn)題，什么時(shí)候出發(fā)？”嚴(yán)大洲毫不猶豫。

“跟家里人說(shuō)一下，準(zhǔn)備動(dòng)身吧！”

就這樣，嚴(yán)大洲和一批技術(shù)專(zhuān)家來(lái)到河南洛陽(yáng)，開(kāi)啟了產(chǎn)業(yè)化多晶硅的夢(mèng)想。

當(dāng)時(shí)，世界范圍內(nèi)的多晶硅研發(fā)技術(shù)完全掌握在德國(guó)、日本等西方國(guó)家手中，國(guó)內(nèi)在該領(lǐng)域的研究幾乎是一片空白。因此，嚴(yán)大洲面對(duì)的不僅是幾乎一無(wú)所有的廠(chǎng)房和實(shí)驗(yàn)室，還有近乎空白的相關(guān)技術(shù)資料。

條件是艱苦的，挑戰(zhàn)是嚴(yán)峻的，責(zé)任也是艱巨的。面對(duì)艱難困苦，嚴(yán)大洲沒(méi)有氣餒。從小就深受黨的教育、已經(jīng)成為一名優(yōu)秀共產(chǎn)黨員的他深知，中華民族近百年由弱到強(qiáng)，從一窮二白到屹立于世界東方，就是靠著一代又一代中國(guó)共產(chǎn)黨員的拼搏奮斗。現(xiàn)在，一個(gè)報(bào)效國(guó)家、改寫(xiě)歷史的機(jī)會(huì)擺在他面前，他當(dāng)然義不容辭。

當(dāng)時(shí)，嚴(yán)大洲第一步考慮的就是從主流的3對(duì)棒到12對(duì)棒還原爐的自主研發(fā)。12對(duì)棒還原爐較之前的不僅增加了硅棒數(shù)量，硅芯的高度也從1米增加到了1.8米。而這不僅僅是整體擴(kuò)大一樣的簡(jiǎn)單，嚴(yán)大洲率領(lǐng)團(tuán)隊(duì)在充分核算了熱場(chǎng)、流場(chǎng)的合理分布后，自主設(shè)計(jì)并委托遼寧一家企業(yè)制造了第一臺(tái)12對(duì)棒還原爐。

由于設(shè)備全部是自主研發(fā)，沒(méi)有前人經(jīng)驗(yàn)，全靠摸索。當(dāng)時(shí)面臨的第一個(gè)問(wèn)題就是硅芯無(wú)法擊穿的問(wèn)題，這是還原反應(yīng)的第一個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

嚴(yán)大洲作為負(fù)責(zé)還原工藝的技術(shù)人員，和對(duì)電氣方向的專(zhuān)家毋克力一起研究調(diào)整打壓系統(tǒng)。嚴(yán)大洲回憶說(shuō)：“毋克力和我一起從小試項(xiàng)目走來(lái)，有著豐富的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗(yàn)。”經(jīng)過(guò)對(duì)爐內(nèi)溫度、硅芯高度等各種核算，最終他們成功將打壓系統(tǒng)調(diào)到了1.2萬(wàn)伏，電壓調(diào)整后，當(dāng)硅芯通紅地出現(xiàn)在大家視野中，當(dāng)時(shí)從北京一起過(guò)來(lái)的同事們都激動(dòng)萬(wàn)分，團(tuán)隊(duì)里年輕的小姑娘哭得稀里嘩啦。

然而，嚴(yán)大洲和團(tuán)隊(duì)依然面臨一堆問(wèn)題。硅芯在還原爐中是在石墨座上用卡瓣固定，在石墨底座下面是地盤(pán)，電極在內(nèi)部通過(guò)地盤(pán)和石墨底座連接硅芯。硅芯擊穿需要高壓，高壓系統(tǒng)也帶來(lái)了其他設(shè)備問(wèn)題。嚴(yán)大洲和他的技術(shù)團(tuán)隊(duì)當(dāng)時(shí)幾天幾夜都睡不著覺(jué)，感覺(jué)每一步前面要對(duì)付的“怪獸”抵抗力更強(qiáng)。為了趕項(xiàng)目進(jìn)度，確保項(xiàng)目按時(shí)驗(yàn)收，嚴(yán)大洲和團(tuán)隊(duì)里的黨員組成黨員先鋒隊(duì)，通宵達(dá)旦地加班調(diào)整思路改圖紙。最終，嚴(yán)大洲根據(jù)電壓電流情況調(diào)整了石墨底座間距，為避免棱角處尖端放電，改變了底座形狀，并在洛陽(yáng)找到一批優(yōu)秀的技術(shù)工人，請(qǐng)他們用鋼銼人工作業(yè)，解決了石墨底座的問(wèn)題，再次攻克了一項(xiàng)技術(shù)難題。

當(dāng)時(shí)還有一個(gè)很大的問(wèn)題，就是硅芯傾斜造成倒?fàn)t。硅芯是用卡瓣固定在石墨底座上，最初用的卡瓣是兩瓣型，之前倒?fàn)t并未考慮問(wèn)題。然而，經(jīng)過(guò)對(duì)數(shù)據(jù)的總結(jié)分析，嚴(yán)大洲提出了這個(gè)疑問(wèn)，并頂著質(zhì)疑的壓力，堅(jiān)持改為三瓣、四瓣，這樣接觸面變大，卡得更緊，降低了倒?fàn)t的可能。

就這樣，嚴(yán)大洲一次次面對(duì)困難，一次次攻堅(jiān)克難，以一個(gè)黨員的擔(dān)當(dāng)和責(zé)任，戰(zhàn)勝了一個(gè)個(gè)挑戰(zhàn)。多晶硅終于在洛陽(yáng)順利生產(chǎn)了，這也成為國(guó)內(nèi)首條規(guī)?；漠a(chǎn)業(yè)線(xiàn)，成功打破了國(guó)外長(zhǎng)期以來(lái)對(duì)中國(guó)多晶硅生產(chǎn)的技術(shù)封鎖和市場(chǎng)壟斷，幫助國(guó)家擺脫高度依賴(lài)進(jìn)口的困窘局面，開(kāi)始解決光伏產(chǎn)業(yè)“兩頭（原料、市場(chǎng)）在外”的“一頭”問(wèn)題。

此時(shí)，改寫(xiě)了行業(yè)歷史的嚴(yán)大洲卻沒(méi)有絲毫沾沾自喜，為人低調(diào)樸實(shí)的他以現(xiàn)有的技術(shù)突破為基礎(chǔ)，在科研的道路上繼續(xù)前進(jìn)。他帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)先后承擔(dān)了科技部“863”計(jì)劃項(xiàng)目3項(xiàng)、國(guó)家科技支撐計(jì)劃課題5項(xiàng)、國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目3項(xiàng)、國(guó)家產(chǎn)業(yè)振興和技術(shù)改造項(xiàng)目1項(xiàng)以及省市科技攻關(guān)和技術(shù)改造項(xiàng)目240余項(xiàng)，申請(qǐng)專(zhuān)利近200項(xiàng)，并將這些科研成果進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化，不斷引領(lǐng)行業(yè)發(fā)展。這不僅體現(xiàn)了一個(gè)科技工作者的能力，更是一個(gè)優(yōu)秀共產(chǎn)黨員勇于擔(dān)當(dāng)，實(shí)現(xiàn)硅業(yè)報(bào)國(guó)的有力證明！

心懷曙光 破浪前行

對(duì)于一個(gè)戰(zhàn)斗在科技崗位上的共產(chǎn)黨員而言，這是一個(gè)最好的時(shí)代，也是一個(gè)偉大的時(shí)代。國(guó)家的高質(zhì)量發(fā)展，需要他們運(yùn)用自己的智慧與才華，書(shū)寫(xiě)屬于這個(gè)時(shí)代的傳奇。在嚴(yán)大洲帶領(lǐng)中國(guó)光伏行業(yè)走出困境的10多年后，中興事件、華為困局，都暴露出我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)、光纖通信行業(yè)原料、技術(shù)受制于人的不利局面。新時(shí)代、新征程，共產(chǎn)黨員總是出現(xiàn)在黨和國(guó)家最需要的地方。嚴(yán)大洲和他的團(tuán)隊(duì)又開(kāi)始聚力高端，潛心研究國(guó)家緊缺的芯片用電子級(jí)多晶硅料和電子特種氣體以及光纖通信行業(yè)的原材料。

硅業(yè)報(bào)國(guó)，激勵(lì)他們向著助力中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)崛起的新征程進(jìn)發(fā)。

電子級(jí)高純多晶硅和區(qū)熔級(jí)多晶硅是制取集成芯片的超純?cè)?，但是這個(gè)市場(chǎng)一如十多年前的光伏用多晶硅產(chǎn)品，卻長(zhǎng)期被美國(guó)、德國(guó)、日本壟斷，“做國(guó)家急缺的高端硅基材料！”這是具有民族情懷的科技工作者嚴(yán)大洲的追求。

雖然同為多晶硅，但是技術(shù)難度完全不在一個(gè)級(jí)別。電子級(jí)多晶硅對(duì)純度的要求極高:施主雜質(zhì)含量不高于0.15ppba，受主雜質(zhì)含量不高于0.05ppba。所以，生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅對(duì)技術(shù)的要求也極高。嚴(yán)大洲對(duì)團(tuán)隊(duì)成員說(shuō)：“我們每個(gè)技術(shù)人員，都要站位高，尤其是共產(chǎn)黨員，心里要有大視野、大格局，才能在科研中靜下心來(lái)，只有忘記個(gè)人小得失，也才能做成大事情，不辜負(fù)所學(xué)。”電子級(jí)多晶硅車(chē)間因?yàn)閷儆诔呒儹h(huán)境，需要穿戴高純服，而高純服的密閉性極強(qiáng)。嚴(yán)大洲和技術(shù)團(tuán)隊(duì)經(jīng)常一待一天，冬天外面北風(fēng)呼嘯，嚴(yán)大洲他們已經(jīng)在嚴(yán)密的高純服里大汗淋漓。

因?yàn)橛行叛?，所以無(wú)悔于堅(jiān)持。

通過(guò)精餾和反應(yīng)精餾絡(luò)合的工藝，他們有效地除去了原料三氯氫硅中金屬雜質(zhì)和B、P等施主受主雜質(zhì)，采用高純氫氣純化技術(shù)，有效去除氫氣中C、O、N等雜質(zhì)；在設(shè)備方面，為了有效控制雜質(zhì)，嚴(yán)大洲對(duì)每一個(gè)電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)使用的管道、儀表閥門(mén)等重要系統(tǒng)配套部件全部親自過(guò)問(wèn)，確保材質(zhì)滿(mǎn)足高純產(chǎn)品所需。

無(wú)數(shù)的夜晚，在洛陽(yáng)生產(chǎn)基地的辦公樓二樓有一盞燈總亮到凌晨，那是嚴(yán)大洲的辦公室。從理論研究、評(píng)價(jià)爐檢測(cè)，到應(yīng)用于還原爐的試生產(chǎn)，再到整個(gè)車(chē)間的穩(wěn)定生產(chǎn)，嚴(yán)大洲帶領(lǐng)科研技術(shù)人員在無(wú)數(shù)參數(shù)數(shù)據(jù)的計(jì)算、對(duì)比、推翻、再確定的過(guò)程中，經(jīng)歷著“殘酷”的自我否定和驚喜的科學(xué)肯定。黑夜熬白了他們的黑發(fā)，從電子級(jí)多晶硅試驗(yàn)成功，到區(qū)熔級(jí)多晶硅的研發(fā)成果轉(zhuǎn)化，他們用堅(jiān)毅的韌性迎來(lái)了勝利的曙光。

嚴(yán)大洲帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)致力于集成芯片的超純?cè)系耐瑫r(shí)，也不忘思考如何利用目前成熟生產(chǎn)工藝，研發(fā)集成電路產(chǎn)業(yè)中其他制約發(fā)展的產(chǎn)品。

一塊電路芯片由100多億個(gè)晶體管組成，晶體管通過(guò)納米級(jí)電線(xiàn)，經(jīng)外延、光刻、氣相沉積、離子注入、擴(kuò)散、刻蝕、清洗等諸多工序連接在一起，這個(gè)過(guò)程需要110種電子氣體進(jìn)行構(gòu)造和塑形。這當(dāng)中，硅基電子特氣占比近半，其質(zhì)量直接影響半導(dǎo)體集成電路芯片的質(zhì)量和性能。

目前全球半導(dǎo)體用電子氣體市場(chǎng)呈現(xiàn)出寡頭競(jìng)爭(zhēng)的格局，美國(guó)、法國(guó)、德國(guó)、日本幾家企業(yè)的電子氣體產(chǎn)量之和全球市場(chǎng)占比90%以上，許多氣體在國(guó)內(nèi)的生產(chǎn)仍是空白。只要這些核心技術(shù)被國(guó)外控制，芯片技術(shù)的自主國(guó)產(chǎn)化就很難實(shí)現(xiàn)。

嚴(yán)大洲當(dāng)然不會(huì)放棄這些領(lǐng)域的研究。

多晶硅還原爐內(nèi)反應(yīng)十分復(fù)雜，已知的反應(yīng)高達(dá)十幾種，原料三氯氫硅和氫氣在爐內(nèi)高溫硅芯表面發(fā)生氣相沉積反應(yīng)，生成棒狀多晶硅，同時(shí)副產(chǎn)四氯化硅、氯化氫、二氯二氫硅、三氯氫硅、六氯乙硅烷、六氯乙硅氧烷等化合物，在此過(guò)程中，還原爐內(nèi)硼磷及金屬雜質(zhì)含量低至ppb級(jí)別，因此副產(chǎn)物純度很高。正因如此，這些低雜質(zhì)副產(chǎn)化合物更適合用來(lái)作為硅基電子特氣的原料。為了讓這些“原料氣”達(dá)到集成電路的高純等級(jí)，嚴(yán)大洲帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)以專(zhuān)項(xiàng)研發(fā)攻關(guān)小組為單位，并鼓勵(lì)每個(gè)單位發(fā)揮“頭腦風(fēng)暴”的作用，集思廣益，同時(shí)鼓勵(lì)每個(gè)技術(shù)人員要敢于嘗試，勇于面對(duì)失敗與挫折。

在這樣日復(fù)一日的刻苦鉆研下，自2014年至今，他們攻克了一個(gè)個(gè)難題：

——利用精餾和吸附技術(shù)有機(jī)結(jié)合形成了一套獨(dú)特的提純技術(shù)，使得OVD級(jí)高純四氯化硅產(chǎn)品各項(xiàng)金屬雜質(zhì)含量均小于1ppbw，PCVD級(jí)超高純四氯化硅產(chǎn)品各項(xiàng)金屬雜質(zhì)含量均小于0.5ppbw。

——通過(guò)對(duì)常規(guī)精餾的三氯氫硅中20多種微量組分的賦存狀態(tài)、結(jié)構(gòu)、化學(xué)反應(yīng)機(jī)理的深入研究，開(kāi)發(fā)了絡(luò)合精餾純化工藝，實(shí)現(xiàn)對(duì)產(chǎn)品中痕量雜質(zhì)的去除，同時(shí)加上其他創(chuàng)新性工藝提升技術(shù)，成功制備出了半導(dǎo)體用電子級(jí)三氯氫硅，加之自主研究開(kāi)發(fā)了全自動(dòng)充裝技術(shù)及裝備、在線(xiàn)密閉取樣裝置和電子特氣檢測(cè)方法，產(chǎn)品指標(biāo)可完全滿(mǎn)足客戶(hù)需求。

——通過(guò)閃蒸加高效過(guò)濾的方式去除了多晶硅系統(tǒng)殘液中的固體雜質(zhì)，發(fā)明了一種全新的綠色環(huán)保型氯硅烷殘液即六氯乙硅烷回收提純工藝，并進(jìn)行了產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，同時(shí)通過(guò)填料制備工藝、產(chǎn)品精細(xì)化前處理等具備自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)工藝優(yōu)化，成功制備了半導(dǎo)體用電子級(jí)六氯乙硅烷。

隨著一個(gè)又一個(gè)令人驚喜的成果被嚴(yán)大洲團(tuán)隊(duì)研發(fā)出來(lái)，他們也收獲了驕人的成績(jī)：先后獲得國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)、中國(guó)專(zhuān)利金獎(jiǎng)、中國(guó)專(zhuān)利銀獎(jiǎng)、中國(guó)工業(yè)大獎(jiǎng)提名獎(jiǎng)、省部級(jí)科技進(jìn)步特等獎(jiǎng)1項(xiàng)、一等獎(jiǎng)6項(xiàng)、中國(guó)有色金屬工業(yè)科技進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)等重要榮譽(yù)40余項(xiàng)。此外，嚴(yán)大洲還成為了國(guó)務(wù)院授予的“特殊津貼”專(zhuān)家、全國(guó)勞動(dòng)模范、全國(guó)有色金屬行業(yè)設(shè)計(jì)大師，并入選國(guó)家“百千萬(wàn)人才”工程、“有突出貢獻(xiàn)中青年專(zhuān)家”、首屆中國(guó)“杰出工程師”、中華杰出工程師、中原學(xué)者、河南省優(yōu)秀專(zhuān)家、河南省高層次人才和洛陽(yáng)市領(lǐng)軍人才。

志存高遠(yuǎn)才能行穩(wěn)致遠(yuǎn)。嚴(yán)大洲常說(shuō)：“路漫漫其修遠(yuǎn)兮，吾將上下而求索，就是我目前的心態(tài)。在中華民族偉大復(fù)興的道路上，作為一個(gè)一輩子研究硅材料的科技人員、一個(gè)信仰堅(jiān)定的共產(chǎn)黨員，不論是國(guó)家的發(fā)展，還是子孫后代的生活，我都深感不斷創(chuàng)新占領(lǐng)高端的迫切性，也深感責(zé)任重大。”

一路走來(lái)，行業(yè)內(nèi)在困難面前退出者比比皆是，嚴(yán)大洲卻堅(jiān)信，沒(méi)有經(jīng)歷艱難困苦的人，就不是一個(gè)完整的人，只有歷經(jīng)艱難困苦，方能玉汝于成。對(duì)于企業(yè)的發(fā)展、技術(shù)的研發(fā)，亦是如此。一個(gè)有家國(guó)情懷的共產(chǎn)黨員，一個(gè)為夢(mèng)想努力過(guò)的人，才是一個(gè)不負(fù)于己、不愧于黨的人，也正是這樣的人，才能不忘初心、砥礪前行，創(chuàng)造行業(yè)的輝煌！